久茂產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

高速穩(wěn)定的通過率 作為荷蘭ASM公司的子公司，Levitech為半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)產(chǎn)品。產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體市場對小結(jié)構(gòu)和一致性產(chǎn)品的要求，機(jī)器制造商必須實(shí)施新的傳熱方法，這需要更快的溫度修正和更精確的控制。那就是為什么Levitech公司要尋找一種替代方法在其產(chǎn)品上控制熱處理過程。來自荷蘭的Levitech公司找到了久茂與之合作。 制造過程 用于晶圓制造的反應(yīng)器由兩個石墨圓盤組成，它們被加熱到適當(dāng)?shù)墓に嚋囟?，為了產(chǎn)生最佳結(jié)果，晶盤需要顯示特定的特征。

在這個過程中，用氣體使晶圓在兩個圓盤之間懸停而互不接觸，必要溫度使用Kanthal®加熱元件才能達(dá)到1200攝氏度。更高的效率 應(yīng)用創(chuàng)新的傳熱方法有助于晶圓的快速加熱和快速冷卻。晶圓的兩邊都有一個均勻0.15毫米的開口確保非常有效的導(dǎo)熱性。晶圓在幾秒鐘內(nèi)被加熱到石墨片的溫度，它們由一個特殊的加熱控制系統(tǒng)控制，這就是久茂的晶閘管功率控制器做到的。 JUMO TYA 201在每個溫度階段控制Kanthal®加熱元件所需的電流和電壓從而確保精確的溫度變化。該系統(tǒng)使晶圓每次都在相同的最佳溫度下生產(chǎn)。 快速和精確控制對半導(dǎo)體產(chǎn)品是極其必須的 這就是為什么Levitech公司可以滿足市場需求和在相同時間內(nèi)可以增加出貨量的原因。